Micro-XRF je nedeštruktívna analytická technika, ktorú je možné vyknávať na Skenovacom Elektrónovom Mikroskope popri konvenčnej EDS analýze alebo pomocou samostatného prístroja. Jej výhodou je schopnosť merať a mapovať stopové prvky, či analyzovať viacvrstvové vzorky.
