EDS je technika určená na chemickú analýzu vzorky v Skenovacom Elektrónovom Mikroskope. Pri interakcii elektrónového zväzku so vzorkou dochádza ku generovaniu charakteristického rtg žiarenia, ktoré je akýmsi odtlačkom prsta konkrétneho chemického prvku. Technika EDS je založená na meraní počtu kvánt charakteristické rtg žiarenia pomocou energo-disperzívneho spektrometra, vďaka čomu je možné určiť chemické zloženie študovanej vzorky. Oxford Instruments ponúka software a zariadenia EDS pre SEM aj FIB, a to ako pre rutinnú mikro-analýzu, tak aj pre vysokovýkonnú najpokrokovejšiu nano-analýzu.
