Konfigurácia systémov FIB-SEM spočíva v zhode ohnísk elektrónového a iónového lúča. Vďaka tomu je možné vzorku upravovať pomocou FIB a zároveň ju zobrazovať pomocou SEM. Výskumníci tak majú k dispozícii výkonný nástroj, ktorý významne urýchli aj tie najdetailnejšie operácie.
TESCAN ponúka dva rôzne druhy iónových zdrojov: gáliové ióny a xenónovú iónovú plazmu. Ga-FIB je určený pre všetky aplikácie vyžadujúce najvyššiu úroveň presnosti. Xe-FIB zase umožňuje dosiahnuť vysoké hodnoty prúdu iónového zväzku, pri ktorých je odstraňovanie veľkých objemov materiálu až 50x rýchlejšie ako v prípade Ga-FIB. Z hľadiska presnosti, Xe-FIB dosahuje vysoké rozlíšenie na úrovni až < 15 nm, vďaka čomu je vhodný pre všetky aplikácie, ktoré si vyžadujú kombináciu výkonu a presnosti. Ponuka FIB-SEM riešení nachádza uplatnenie v celej škále aplikácií – od rutinných priemyselných aplikácií až po najpokročilejšie a najnáročnejšie technologické aplikácie.
